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本公司代理普發全部產品 

一、A100L/A200L是緊湊型幹泵

用於潔淨製程的整體式幹泵

具有緊湊結構的潔淨製程整體式幹泵是專為滿足半導體生產設施中的靈活彈性集成要求而開發的。為了在方便在機台內直接安裝和快速抽空的設計要求，用於潔淨製程的該係列緊湊型泵是裝載互鎖、傳輸室以及其他非腐蝕性應用的解決方案。

針對高氣流量應用的全新解決方案

普發真空推向市場的用於高氣流量應用的全新200m³/h級別產品A200L，再次展示出了其在整體式幹泵市場中全球領導地位。憑借著100m³/h 級別產品A100L和200m³/h 級別產品A200L，普發真空為一切潔淨製程應用提供完整的產品種類。

優勢

● 高氣流量

● 體積小巧

● 裝配優化

● 購置成本低

應用

● 裝載互鎖和傳輸室

● 半導體生產

● 光伏

引導行業的整體式幹泵

自從A100L泵問市以來，它改變了半導體行業生產設施中泵的集成問題。基於幹式多級羅茨泵技術，盡管尺寸小，整體式幹泵依然提供了高抽速和短抽空時間的特點。如今，整體式潔淨製程的幹泵泵是先進的，且A100係列在全世界範圍內很多300mm半導體工廠內進行了安裝。

用於裝載互鎖和傳輸室的整體式幹泵

在諸如裝載互鎖和傳輸室等潔淨製程應用中，這些泵排除了泵安裝中的真空管路影響。通過使用整體式幹泵，可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。該泵在生產過程中提供可持續的傑出性能且具有高效節能的特點。高可靠性和長期穩定性使該泵脫穎而出。

整體式幹泵——不僅僅用於半導體行業

該泵能提供幹燥和無塵的潔淨真空，整體式幹泵也為太陽能光電設備提供上佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷卻係列的另一優勢。小巧的體積保證了其在大型機台內集成的便利性。

產品名稱：幹式真空泵

二、磁懸浮渦輪分子泵

電磁軸承也被稱作“主動式磁懸浮軸承”，其轉子位置會被不間斷的監測和自動調整，並依靠自動平衡補償來實現無磨損、低震動的運行。保證轉子能持續穩定的工作。同時，這樣的軸承設計也實現了零維護和無潤滑油。

5軸磁懸浮渦輪分子泵

技術上的傑作

HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術，轉子 的位置能被實時控製。在工作中，動平衡裝置會進行自動校準，可以極小程度上減輕震動和工藝過程中產生的軸承位移。低能耗和極低的維護成本確保了其極高的性價比。

超強的兼容性

是否覺得不同的界麵接口標準讓您頭疼不已？好色先生TV网站的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅動裝置供您選擇，從而滿足各種不同界 麵接口的連接需要。

可靠

好色先生TV网站ATH M和ATP M係列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉子 監測係統和實時的轉子位移自動修正功能。通過采用這種高性能的 軸承技術，好色先生TV网站的泵不僅能確保長時間的穩定性和可靠性，同時運 行時也非常安靜。此係列軸承技術的泵在半導體、鍍膜和幹蝕刻等 離子體過程行業的高真空工藝中具有標杆地位，此外也廣泛應用於 許多其他工業行業和研發領域。

產品名稱：半磁浮渦輪分子泵