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    好色先生TV网站的常見故障及解決辦法

    2022-09-16 13:51:31
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    好色先生TV网站是物理氣相堆積的一種,好色先生TV网站通過在靶陰極外表引入磁場，使用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。好色先生TV网站工藝在日常操作過程中有哪些常見的毛病呢？

    好色先生TV网站常見毛病及解決辦法

    1.無法起輝

    （1）直流電源毛病，查看直流電源；

    （2）氬氣進氣量小，查看氬氣流量計或加大氬氣進氣量；

    （3）真空室清潔度不行，清潔真空室；

    （4）靶材絕緣度不行，查看靶是否與地短路，在通水的情況下，對地電阻應該在 50kΩ以上；

    （5）磁場強度不行，查看永磁體是否消磁；

    （6）真空度太差，查看真空體係。


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    2.輝光不穩

    （1）電壓電流不穩，查看電源；

    （2）真空室壓力不穩，查看氬氣進氣量及真空體係；

    （3）電纜毛病，查看電纜是否連接良好。

    3.成膜質量差

    （1）基片外表清潔度差，清潔基片外表；

    （2）真空室清潔度差，清潔真空室；

    （3）基片溫度過大或過小，查看溫控體係，校準熱電偶；

    （4）真空室壓力過大，查看真空體係；

    （5）濺射功率設置不當，查看直流電源，設置何事的設定功率。

    4.濺射速率低

    （1）氬氣進氣量過大或過小，調查輝光色彩可以判定氬氣是過大仍是過小，據此調整氬氣進氣量；檢修流量計；

    （2）靶材過熱，查看冷卻水流量；

    （3）查看永磁體是否消磁。

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